激光摻雜的分類有不同的標(biāo)難。激光打標(biāo)機(jī)按所用激光的波長(zhǎng)成分來分，激光摻雜分為單波長(zhǎng)法相雙波長(zhǎng)法。單波長(zhǎng)法使用單波長(zhǎng)的激光束作激光摻雜．它以光熱分解或光化學(xué)分解的方式使源物質(zhì)分解產(chǎn)生雜質(zhì)原子，同時(shí)又對(duì)襯底定域加熱．使雜質(zhì)原子得以摻入。雙波長(zhǎng)法是同時(shí)使用兩束不同波長(zhǎng)的激光實(shí)現(xiàn)激光化學(xué)摻雜。較短波長(zhǎng)的激光常以化學(xué)分解的方式性源物質(zhì)分解產(chǎn)生雜質(zhì)原子，其強(qiáng)度決定摻入襯底的雜質(zhì)濃度；波長(zhǎng)較長(zhǎng)的激光起加熱襯底表面的作用，以控制摻雜范圍。雙波長(zhǎng)法可以用兩束激光分別控制摻雜濃度和摻雜范圍，單波長(zhǎng)法沒有色差、對(duì)準(zhǔn)等問題．光路調(diào)整方便。
按摻雜所用雜質(zhì)源來分，激光接雜可以分力氣相激光摻雜利固態(tài)雜質(zhì)源激光摻雜。氣相激光接雜所用的源物質(zhì)部是氣態(tài)物質(zhì)，通常是由吸階在襯底表面或碰撞在襯底表面的源氣體分子發(fā)生光熱分解產(chǎn)生雜質(zhì)原子。固態(tài)雜質(zhì)源激光摻雜通常是使用源物質(zhì)的溶液在襯底農(nóng)面制備固態(tài)摻雜膜，摻雜膜作為擴(kuò)散源．在激光束照射時(shí)以光化學(xué)分解或光熱分解的方式分解產(chǎn)生雜質(zhì)原子。氣相激光摻雜的應(yīng)用范圍廣，但設(shè)備復(fù)雜、工藝要求高，源材料的貯存、運(yùn)輸、使用由相對(duì)困難一些。固態(tài)雜質(zhì)源的激光摻雜對(duì)工藝條件要求較低．所需設(shè)備簡(jiǎn)單，源材料的貯運(yùn)也方便，激光打標(biāo)機(jī)但適于作激光摻雜的源材料不像氣相源材料那么多，因而使用范圍有限。

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